平板涂布机(GW级别)
专为钙钛矿GW级产线打造的产业级涂布解决方案,它通过可靠的精密涂布技术与全流程自动化控制,致力于实现大面积薄膜的高均匀性与生产稳定性,从而保障大规模量产的高良率。
产品特点
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智能自动化
集成MES系统,支持配方远程上传下载,结合机械手自动上料与传输下料系统,可实现无人化车间运行。
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平稳运行结构基础
采用气浮导轨传动形式,运动平稳、无机械摩擦,进一步减小振动干扰,为高均匀性涂布提供可靠的机械平台。
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超精密振动控制
内置专业隔振机构,确保涂布厚度均匀性。
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自研精密供液系统
搭载自研高精度供液泵,流量控制分辨率优于0.1μl/s,稳定可靠。
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全自动模头标定与校准
对狭缝式涂布模头进行全自动标定与校准,精度高达±1μm,从源头保障涂布头的精密性与出浆一致性。
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全自动排泡
自动检测并排除气泡,并有预涂机构设计,杜绝因气泡导致的涂布缺陷。
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模唇异物智能防护
可检测≥50μm的微小异物,主动预警,保障核心模唇安全。
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百级洁净涂布环境
系统集成FFU,确保核心涂布区域持续维持百级洁净标准,并具备模唇自清洗功能。
产品型号
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产品参数 总重 16T 涂布方式
狭缝涂布
基材尺寸
1200mmx2400mm(可向下兼容)
涂布宽幅
1200mm(可定制)
涂布均一性
≤5%@(300~600nm)
适配药液粘度
1~70cp
节拍
75s@60mm/s